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專注力于半導體材料電能力試驗

國產數字源表(SMU)和探針臺測試應用案例

來源:admin 周期:2024-03-06 13:16 挑選量:3184

1、MPD晶圓測試

測試設備:脈沖發生器源表P300+探頭臺

異常現象:測試中存在一個3nA左右的漏電流

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圖:特別自測曲線擬合圖

異常原因:測試現場的連接線屏蔽層接地不達標,外界電磁環境的作用下使設備對大地的電位發生變化,造成設備工作不穩定

優化措施:將屏蔽層接地

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圖:改進后檢測弧線圖


2、三極管測試

測試設備:2臺電流源表S300+探頭臺

異常現象:源表輸出0-3V的電壓掃描,當輸出的電壓小于0.5V時,源表回讀的電壓值為-0.5V

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圖:不正常測式報告單

不正確原故:電極臺沒能接地極,電極臺設備構造上長期產生金屬,在有電的氛圍中會長期產生靜電反應,進而對測試方法最終結果面臨直接影響

調整機制:將檢測器臺采用輸電線傳輸沃土

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圖:網站優化后測試圖片然而

3、芯片測試

測試設備:直流變壓器源表S300+檢測器臺

異常現象:源表未工作輸出,檢測器冒小火苗

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圖:錯誤公測-測試探針冒火星子

異常原因三同軸網纜GUARD數據浮空。GUARD數據如接入精準,其電勢與數據層主要共同,于是漏電特小,導致對數據起到了好幾個定的防護意義;不過GUARD數據浮空,其與數據層的電勢差比較少,怎樣漏電比較少,對數據的反應太大

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優化措施:將GUARD4g無線信號連結源表,使GUARD4g無線信號具有自我保護的功效

4、PD測試

測試設備:直流源表S300+探針臺

異常現象:源表在100nA的量程下,輸出-2V電壓,實際顯示-2.69V

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圖:問題測驗沒想到

異常原因:客戶使用的同軸線接觸不良,探針臺沒有接地

優化措施:更換新的同軸線,將探針臺通過導線接入大地


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圖:優化方案后自測結局

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